Наименование продукции: линейка унифицированных СВЧ измерительных стендов для измерения параметров радиоэлектронной компонентной базы и СВЧ материалов в L, S, C, X, Ku и Ka диапазонах частот.

Функциональная схема СВЧ измерительного стенда:
• Генератор зондирующего СВЧ сигнала нужного диапазона частот
• Измерительная СВЧ камера с тестируемым элементом (материалом)
• Блок обработки с визуализацией на персональном компьютере

Принцип работы: для каждого частотного диапазона разрабатывается высокодобротная резонансная измерительная камера, обеспечивающая измерения коэффициента отражения и пропускания с установленным в нее тестируемым СВЧ элементом с погрешностью не более 5% (при необходимости погрешность может быть снижена за счет увеличения собственной добротности камеры). На основании этих данных (а также данных калибровки стенда с эталонными элементами) блок обработки способен визуализировать в выбранном диапазоне частот следующие СВЧ параметры: значения комплексного импеданса, вносимые потери, уровень нелинейных искажений – для СВЧ элементов и величины диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь – для СВЧ материалов. При использовании импульсного зондирующего сигнала возможна визуализация времени переключения (до единиц нс) между различными состояниями СВЧ элемента. Предлагаемые СВЧ измерительные стенды могут использоваться для экспресс-контроля выходных параметров при разработке и производстве радиоэлектронной компонентной базы (СВЧ варакторы и вариконды, полупроводниковые и микроэлектромеханические СВЧ ключи, СВЧ транзисторы и усилители) и СВЧ материалов (твердые диэлектрики).

Устройства позволяют определение СВЧ потерь (добротности - Q) полупроводниковых и сегнетоэлектрических варакторов на различных частотах СВЧ диапазона (1ГГц, 2ГГц и т.д.) при различных напряжениях управления. Ошибка измерения добротности не превышает 5% и практически не зависит от частотного диапазона. Точность измерений обусловлена использованием высокодобротных (Q00≥2000 ) измерительных резонаторов и высокой развязкой (≥60дБ) между резонатором и цепями управления конденсатором.

Устройства позволяют производить измерения значений емкости конденсаторов на СВЧ с погрешностью не превышающей 0.1% . Диапазон измеряемых емкостей лежит в диапазоне от 0.1пФ до 10пФ.

Устройства фиксируют изменения емкости с высокой точностью (< 1фФ) в субнаносекундном диапазоне времен, что позволяет определять быстродействие варакторов (как сегнетоэлектрических, так и полупроводниковых). Устройства позволяют определять также уровень остаточной поляризации в линейных керамических конденсаторах при воздействии импульсного напряжения до 5кВ.

В настоящее время не существует единого комплекса (который включал бы в себя измеритель коэффициентов передачи, измеритель времени переключения, устройство подачи напряжения управления и развязывающие цепи) для исследования МЭМ элементов. Разработано универсальное устройство, которое позволяет производить измерение СВЧ S- параметров и времени включения/выключения SPxT МЭМ элементов с использованием стандартного метрологического оборудования.

Результаты тестирования SP4T МЭМ элементов на частоте 2.8ГГц